Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF121
Код товара 623035Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF121. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability - одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
55 slm - 300 slm |
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
Время отклика |
Нормально открытый |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
ELETTA
TIVG 100F-2 Индикатор потока
-
-
-
-
-
-
LIQUID CONTROLS
LC600-784 Расходомер массовый c гнутой трубкой
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
RC3-Ex-03-15 Датчик нагрузки большой мощности
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A2015R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0Y0100R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2U2080R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2U1015R1
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B4F1B1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A2F1B1M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01142011
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-FD111
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.F.1100
-
-
AquaProbeFEA200FEA221-500G1S0N1K1A
-
-
FXL4000-DL23Z
-
-
ProcessMaster300FEP325-450
-
-
ProcessMaster500FEP515-100
-
-
ProcessMaster500FEP521-400
-
-
ProcessMaster500FEP521-601
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P2.F.0200
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D1.0125
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D2.0250
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET105-1A0G1A1A1
-
-
FET321-3C0A1Y4C1
-
-
FET521-1B0A1B
-
-
FET525-2C0M1C
-
-
SRV500-S1A1D1YOYOYM5
-
-
FPD160.F1.A2.U2
-
-
SwirlMasterFSS430.F8.R2.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F8.R1.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S9.C1.F400R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.C1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV430.F1.R2.F100R0
-
-
VortexMasterFSV430.S6.C1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.N1.R1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N9.R1.F150R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134AB1D
-
-
Purgemaster10A610010A6134MB1L
-
-
PurgemasterFGM6100-A6162A
-
-
VA MasterFAM544D4A4S1